ASML在IEDM会议上展望EUV光刻工艺与新机器

Android社区 收藏文章

1.jpg

自 2016 年以来,复合年增长率已达到 95%(题图 via AnandTech

此外,ASML 的 NXE:3400B 步进扫描机已成为大多数 EUV 产品的核心。如上图所示,到 2019 年第二季度,安装量已达 38 台。B 版本已被 NXE:3400C 版本取代,峰值状况下可每小时加工 175 个晶圆。

NXE:3400C 机型的优势之一,就是采用了模块化的设计。当出现镜面缺陷的时候,只需 8~10 个小时来更换,而不是让整机停摆 48 小时。

2.jpg

作为 EUV 机器正常运行时间的另一个重要指标,每周要耽搁 2~3 天的维修等待时间,显然是无法弥补每小时 175 片晶圆加工速度的损失的。

在之前的光刻会议上,芯片巨头英特尔就展示过一张幻灯片,以深入了解其极紫外光刻机的正常运行和停机时间。

3.jpg

据悉,该公司的 3400B 型机器,每周工作时间为 168 个小时。其在 2018 年末仅运行了一周时间,但某几周的停机时间达到了 80~90% 。

2019 年中期(比如第 14 周),其出现了长达一天的计划正常运行 / 停机时间,后者占比 14~20% 。

4.jpg

需要指出的是,英特尔尚未公开销售 EUV 工艺芯片,因此仍需经过校准、测试和开发的流程。该公司有望将 EUV 工艺引入先进的 7nm 处理器中,预计投产时间为 2021 年。

作为机器制造商,ASML 也希望促进其 NXE 机器的晶圆产能,从 2014 年的每小时 10 多片,提升到 2019 年的 170~175 片。

5.jpg

最后介绍的是 EXE:5000 系列光刻机,其通过“High-NA”技术,为台积电的 3nm / Intel 5nm 制造工艺提供支撑。参数上从 0.33 NA 转移到了 0.55 NA,有助于改善越来越小的工艺制程。

至于 High-NA EXE 机器的速度是否超过 NXE 机器或与之相当,目前暂不得而知。ASML 介绍称,新机器有望在 2023 年投放市场,届时 EUV 将在前沿领域得到广泛应用。

相关文章:

英特尔在IEDM会议上展望未来十年的芯片发展路线图

相关标签
 相关文章
王慧文病休53天,旗下OneFlow团队重新创业 1年以前  |  1次阅读
智己CEO现场怒怼!不满LS6和小鹏G6当对手 1年以前  |  1次阅读
董明珠回应落榜世界500强:总比爆雷的世界500强好 1年以前  |  1次阅读
阿里云上线 AI 视频生成工具 Live Portait:可一键让照片开口说话 1年以前  |  78次阅读
妙鸭相机将并入神力视界,阿里大文娱CTO郑勇:不是“搬家”是“回家” 1年以前  |  85次阅读
特斯拉上海超级工厂约40秒下线一台车,零部件本土化率超95% 1年以前  |  69次阅读
宁德时代发布神行超充电池,可实现充电10分钟行驶800里 1年以前  |  71次阅读
中科院博士被骗到缅甸已一年!女友:他负债几万,家里条件一般,以为去当翻译 1年以前  |  85次阅读
小鹏汽车否认收购玛莎拉蒂传闻:系谣言 1年以前  |  63次阅读
联想二季度净利润猛降66%,股价应声跳水 1年以前  |  80次阅读
业内人士:视觉中国对不同侵权主体采用差异化策略,老客由销售沟通新客发律师函 1年以前  |  70次阅读
恒大集团在美国申请破产保护 1年以前  |  56次阅读
劳斯莱斯首款纯电轿跑将在北美亮相 1年以前  |  89次阅读
realme印度前CEO确认加盟荣耀,即将推出手机新品 1年以前  |  88次阅读
OpenAI正在测试内容审核系统,一天可以完成六个月的工作 1年以前  |  80次阅读
谷歌百人“复仇者联盟”出击,将发对标GPT-4的大模型,26位研发主管名单流出 1年以前  |  77次阅读
OpenAI收购数字产品公司Global Illumination,为创立以来首笔公开收购 1年以前  |  80次阅读
海口规定:电动汽车充电服务费不得超过0.65元每度 1年以前  |  80次阅读
波音任命柳青为波音中国总裁 1年以前  |  88次阅读
业内人士谈图片复杂代理链:图片代理商越多摄影师分成越少 1年以前  |  67次阅读

扫一扫

在手机上阅读