8月20日消息,据韩媒曝料称,三星计划削减 High-NA EUV 采购规模,而且和 ASML 联合创立研究中心项目也遇到诸多障碍。三星于 2023 年 12 月和 ASML 签署了一份谅解备忘录(MOU),将在韩国首都圈建立一个 EUV 联合研究中心。
据援引消息源报道,三星原本计划在未来 10 年内,采购 Twinscan EXE:5200、EXE:5400 和 EXE:5600 三款后续 Twinscan EXE:5000 High-NA 光刻机,而最新报道称三星已经通知 ASML,不仅削减 Twinscan EXE:5000 系列 EUV 光刻机采购数量,而且后续仅采购 EXE:5200。
报道称这一决定是在副董事长 Jun Young-hyun 被任命为 DS(设备解决方案)部门的新负责人,并重新审查正在进行的项目和投资之后做出的。
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